蔚华科技携手旗下南方科技推出业界首创的非破坏性SiC缺陷检测系统

全球君 • 2023-11-29 11:07 • 美通企业日报 • 阅读 234

（全球TMT2023年11月29日讯）半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技携手旗下数字光学品牌南方科技，共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术对SiC衬底进行全片扫描，找出衬底内部的致命性晶体缺陷，用以取代现行高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，可提升产量并有助于改善制程。若以每个SiC晶锭需蚀刻2片衬底来计算，JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的衬底厂省下每年5600万因蚀刻而损耗的成本。

蔚华科技与旗下南方科技发表业界首创非破坏性SiC缺陷检测系统，抢攻第三代半导体检测分析市场

第三代半导体的衬底材料质量决定下游芯片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且衬底晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC芯片制程成本居高不下。南方科技总经理王嘉业表示，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出衬底中的致命性晶体缺陷(BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片衬底进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与衬底成本。此外，JadeSiC-NK也可针对同一个晶锭进行100%的晶圆检查，进行详细的晶锭分析和批次追踪分析，协助客户在高技术门槛的第三代半导体市场加速制程及产量优化。